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如何定义探针台？探针台的工作原理是什么？

2024-07-09 10:01

探针台是一种在半导体研发和制造过程中，用于检测晶圆和电子元件电气特性的设备，广泛应用于芯片、材料领域研发和检测复杂高速器件的精密电气测量，旨在保证质量和可靠性，降低研发时间和器件制造工艺的成本，多用于半导体行业、光电行业、集成电路和封装测试行业。


探针台的工作原理是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，通过将探针与被测元件的引脚接触，使元件与测试仪表连接，将测试信号从仪表发送到被测晶圆上的各个器件，并获取各个器件的信号反馈，通过收集这些信号来测试芯片的各种电气特性，比如IV、CV、RF等。


探针台的主要组成部分包括探针台台体、显微镜光学显示系统、探针夹具测试组件三部分，各组成部分根据测试要求选择不同的配置。总的来说，探针台在半导体制造和研发领域扮演着重要的角色，其精度和性能对半导体产品的质量有着直接的影响。

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